用 途：
該設(shè)備是加工晶棒參考邊（OF面）時(shí)定向的專用儀器，是外圓滾磨機(jī)床后道工序的配套設(shè)備，將外圓滾磨機(jī)磨好的晶棒放在該儀器上進(jìn)行定向；然后到平面磨床上磨參考面；其定向角度是固定式，客戶可根據(jù)自己的晶體材料選擇不同晶體的角度，如；藍(lán)寶石A、R面；硅、砷化稼、鍺（110）面等晶體的角度。（訂貨時(shí)晶向角度可自選）
特點(diǎn)：
此設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高，一臺(tái)設(shè)備的定向、能滿足多臺(tái)平面磨床的使用。標(biāo)準(zhǔn)配置2、4英寸夾具各一套。（訂貨時(shí)夾具尺寸可以選配）
方 法：
把滾磨機(jī)床磨好的晶棒放到 V型槽專用夾具中，放到工作臺(tái)上，使定向頭慢慢向下移動(dòng)直至碰到晶棒為止，打開(kāi)射線光閘測(cè)量其晶向，然后慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒找到參考邊方向，反復(fù)幾次準(zhǔn)確的找到角度最大值；然后將夾具鎖緊，連同V型槽專用夾具一同放到平面磨機(jī)床上，磨出參考邊。
主要技術(shù)參數(shù)：
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X 射線管 |
銅靶，陽(yáng)極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
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管 電 壓 |
30KVP、全壓合閘 |
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管 電 流 |
0-5mA、連續(xù)可調(diào) |
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電源輸入 |
單相交流220V 、50HZ、 0.5KW |
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測(cè)量角度 |
固定式藍(lán)寶石A向18°55′ |
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計(jì) 數(shù) 管 |
蓋革、電壓DC700---1200V |
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時(shí)間常數(shù) |
0.1、0.4、3秒；3檔可調(diào) |
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X窗口控制 |
電 磁 光 閘 |
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測(cè)晶棒重量 |
20Kg晶棒 |
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測(cè)晶棒直徑；長(zhǎng)度 |
直徑2--4英寸、長(zhǎng)50-300 mm |
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V槽夾具 |
標(biāo)準(zhǔn)配置、直徑2、4、英寸 |
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外形尺寸 |
長(zhǎng)1140×寬650×高1700 |
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儀器重量 |
150KG | |
