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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無(wú)損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-7M長(zhǎng)晶棒定向儀


  針對(duì)客戶測(cè)量大直徑、長(zhǎng)尺寸硅晶圓片、晶棒而設(shè)計(jì),此儀器為雙工作位。

  標(biāo)準(zhǔn)配置如下:GA, GC測(cè)角儀。
    1、一側(cè)用于測(cè)3--8英寸晶圓片111、100面,還可測(cè)晶棒參考面(110)等角度。
    2、另一側(cè)用于測(cè)直徑5----8英寸,長(zhǎng)800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

  主要參數(shù):

項(xiàng) 目

參 數(shù)

晶棒直徑

5---8英寸、最大11寸

晶棒長(zhǎng)度

800 mm

樣品板面積

43寬×112高mm

定向精度

±30″

數(shù)顯方式

θ:度;分;秒;最小讀數(shù)10″

顯示器

外置立式

技術(shù)指標(biāo)

符合YX-2參數(shù)。

尺 寸

1210×810×1420 mm

 

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