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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無(wú)損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-2H8大晶棒定向儀

  YX-2H8大晶棒定向儀是在標(biāo)準(zhǔn)定向儀基礎(chǔ)上,針對(duì)單晶硅、砷化鎵、藍(lán)寶石等多種晶體設(shè)計(jì).主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道。
  標(biāo)準(zhǔn)配置為GA 、GC、測(cè)角儀
  1,一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片;如硅(111)藍(lán)寶石C等角度;同時(shí)能測(cè)晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。                                
  2, 另一側(cè)GC測(cè)角儀能測(cè)晶棒端面,測(cè)量時(shí)可通過(guò)改變滾杠寬度達(dá)到測(cè)量Φ5---Φ8英寸,長(zhǎng)500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。同時(shí)也能測(cè)晶圓片。

主要參數(shù):

項(xiàng)

參 數(shù)

晶圓片直徑

2—8英寸; 最大11英寸

晶棒直徑

5—8英寸 ;最大11英寸

晶棒長(zhǎng)度

500㎜ ; 最長(zhǎng)550㎜

樣品板面積

43寬×112高 ㎜

定向精度

±30″

數(shù)顯方式

θ角:度;分;秒;最小讀數(shù)10″

數(shù)字位置

外置立式

技術(shù)指標(biāo)

符合YX-2參數(shù)

 
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