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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
G系列測(cè)角儀
GA型測(cè)角儀:
按測(cè)量晶圓片,晶棒設(shè)計(jì),樣品臺(tái)帶有承重軌道,可測(cè)30公斤,直徑Φ2--6英寸(可增加到8英寸)的晶圓片與晶棒;在樣品臺(tái)上加有真空吸氣裝置,能測(cè)量晶圓片硅(111)藍(lán)寶石A,C,R等其它晶體的角度,同時(shí)可測(cè)晶棒的參考面或OF面(110)A等角度。
GB型測(cè)角儀:
專為硅、藍(lán)寶石晶棒設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)為寬130mm、長(zhǎng)300mm定位平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托,測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸,長(zhǎng)400mm晶棒的端面,如:硅(111)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度;第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面,第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。
GC型測(cè)角儀:
按測(cè)晶棒設(shè)計(jì),樣品臺(tái)帶有承重軌道,有滾杠型支撐架?蓽y(cè)30公斤,直徑Φ2--Φ8英寸,長(zhǎng)度為400--500mm的晶棒的端面。在樣品臺(tái)上加有真空吸氣裝置,可通過改變滾杠寬度,達(dá)到測(cè)Φ2--Φ6英寸目的,轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒用以測(cè)量端面如:硅(111)藍(lán)寶石C面等其它角度的晶體。
GD型測(cè)角儀:
該型號(hào)測(cè)角儀專為晶圓片參考面的測(cè)量而設(shè)計(jì),測(cè)切完片后的晶圓片的參考面OF面(110)藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度,樣品臺(tái)設(shè)有吸氣裝置,測(cè)量直徑Φ2--Φ8英寸,厚度0.5mm以上的晶圓片OF面。
GE型測(cè)角儀:
該型號(hào)測(cè)角儀專為大直徑晶圓片而設(shè)計(jì)的,可測(cè)直徑Φ2--Φ8英寸的晶圓片,如:硅(111)藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度,晶片樣品板有10×10㎜方格,用于晶圓片上下2點(diǎn)180°和4點(diǎn)90°的測(cè)試。
GF型測(cè)角儀:
該型號(hào)測(cè)角儀樣品臺(tái),專為鉆床加工好的籽晶條的測(cè)量設(shè)計(jì),能測(cè)Φ5---Φ20mm圓籽晶,方型5--20mm,長(zhǎng)度150mm的籽晶條,測(cè)量晶面如:硅(111,100)等其它晶體的角度。
GK型測(cè)角儀:
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過改變樣品板墊塊傾斜角±6°,±8°±15°度位置,來測(cè)晶圓片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
GH型測(cè)角儀
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過旋轉(zhuǎn)90°度,改變樣品板傾斜角±6°度位置來測(cè)晶圓片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
GL型測(cè)角儀:
該型號(hào)測(cè)角儀能測(cè)直徑Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍(lán)寶石C等角度;同時(shí)立測(cè)能測(cè)晶棒參考面或OF,并有垂直參考尺,便于劃線加工參考面,如硅:110面等其它晶體的角度。
 
 
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